ЕНЦИКЛОПЕДІЯ
Київського національного університету імені Тараса Шевченка

Коваль Ігор Пилипович

03.02.1947

Місце народження: м. Морозовськ, Ростов. обл. Росія.
Науковий ступінь: кандидат фізико-математичних наук.
Наукове звання: доцент.
Остання займана посада: завідуючий кафедрою.

Закінчив 1970 радіофізичний факультет Київ. ун-ту, 1975 - асп-ру. 1970-71 - мол. наук. співроб. ПЛ фізичної електроніки; На кафедрі кріогенної та мікроелектроніки працює з моменту її заснування: з 1976 - старш. інж., асист., 1987 - доц., з 2004 – зав. каф. кріогенної та мікроелектроніки. Захистив 1985 канд. дис. “Исследование состава и химической структуры кремния и его соединений методами электронной спектроскопии” (наук. кер. – проф. М.Г.Находкін). Наук. інтереси зосереджені в напрямку фізики поверхні, взаємодії електронів середніх енергій з поверхнею твердого тіла. Разом із співавторами вперше відкрито явище промотування окислення атомно-чистої поверхні кремнію субмоношаровими покриттями лужних металів. Показано, що швидкість оксидування при наявності лужного металу підвищується на декілька порядків, що може бути використано для отримання надтонких шарів оксидів на поверхні кремнію. Так само було винайдено явище інгібування окислення поверхні кремнію субмоношаровими покриттями елементів 5-ї групи (Sb, Bi) при експозиціях у кисні менших за 103 L. Ці обидва явища в комплексі можна використовувати для вирощування наноструктур на поверхні напівпровідників. Досліджено процеси формування надтонких шарів сполук кремнію на поверхні кремнію при бомбардуванні поверхні Si іонами активних газів. На основі цих досліджень може бути розвинута технологія створення надтонких шарів сполук кремнію з контрольованою стехіометрією. Започатковано напрямок моделювання адсорбційних явищ на поверхні твердого тіла та, зокрема, напівпровідників, що базується на напівемпіричних та ab initio квантовохімічних розрахунках. Читає лекц. курси: "Фіз. електроніка", "Фіз. основи технології мікроелектроніки", "Телемедицина", "Сучасні методи діагностики поверхні", "Фізика поверхні". Веде практикум “ЕОМ експеримент та МОІ”. Є наук. кер. держбюджетних та госпдоговірних робіт. Автор 96 наук. праць. Осн. праці: Атлас ионизационных спектров /Под ред. Н.Г.Находкина. К.,1989 (в соавт.); Ионизационная спектроскопия /Под ред. М.Г.Находкіна. К., 1992.

Автор:

Карта місця народження: 
завантаження карти...

  • Останні зміни:
Повернутися до підрозділу >



Інститути, факультети

Коледжі, ліцеї

Загальноуніверси- тетські інституції

Адміністративні та фінансові підрозділи

Громадські об’єднання

Тематичні розділи