ЕНЦИКЛОПЕДІЯ
Київського національного університету імені Тараса Шевченка

Євтух Анатолій Антонович

04.03.1955

Місце народження: не подано.
Науковий ступінь: доктор фізіко-математичних наук.
Наукове звання: професор.

Закінчив електрофізичний факультет Львівського політехнічного інституту в 1977 р. Тривалий час працював в Науково-дослідному інституті Мікроприладів Київського виробничого об’єднання «Кристал» Міністерства електронної промисловості на інженерних посадах, посадах наукового співробітника та начальника лабораторії. В НДІ Мікроприладів займався розробкою технології виготовлення мікроелектронних напівпровідникових приладів та інтегральних схем і дослідженням фізичних процесів, що лежать в основі їх роботи. З 2002 року і по теперішній час працює в Інституті фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, зараз на посаді завідувача відділом. В 1985 р. захистив кандидатську дисертацію “Исследование токопереноса и накопления заряда в полупроводниковых структурах с многослойным диэлектриком”, а в 2004 р. – докторську дисертацію "Тунельна інжекція та емісія електронів в шаруватих напівпровідникових структурах на кремнії". В 2008 р. отримав вчене звання професор. Почесний професор університету Шізуока (Японія, 2010 р.). Лауреат державної премії України в галузі науки та техніки (2011 р.) Викладає спеціальні курси "Напівпровідникова електроніка», «Наноматеріали та структури на їх основі» та «Фізика напівпровідникових наноелектронних приладів» ” для студентів (бакалаври, спеціалісти, магістри) Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Основні напрямки наукових досліджень – фізика напівпровідників і діелектриків, шаруваті структури метал-діелектрик-напівпровідник та границі розділу, електрофізичні процеси, емісія та інжекція електронів, фізика поверхні, фізико-хімічні властивості наноструктурованих напівпровідників, напівпровідникові прилади мікро- та наноелектроніки: фізика, технологія, застосування; розробка напівпровідникових хімічних та радіаційних сенсорів. Розробив технології вирощування надтонких діелектричних плівок SiO2, формування шаруватих структур с подвійним діелектриком та з нанокристалами кремнію для використання в елементах енергонезалежної пам’яті (FLASH, SONOS, нанокристалічна пам’ять); дослідив особливості електронного транспорту в шаруватих структурах на основі кремнію та особливості електронної польової емісії з наноструктурованих напівпровідників: розробив фізико-технічні основи створення сенсорів водневмістких газів на основі МДН структур з каталітично-активними композитними електродами. Виступав з доповідями в університетах Німеччини та Японії. Опублікував більше ніж 250 наукових праць. Серед них 7 авторських свідоцтв та патентів на винаходи, 3 монографії, зокрема: Litovchenko V., Evtukh A. Vacuum Nanoelectronics. In Handbook of Semiconductor Nanostructures and Nanodevices, V.3. Spintronics and Nanoelectronics. Edited by A.A. Balandin and K.L. Wang, American Scientific Publishers, Los Angeles. 2006, p.153-234.

Автор:

  • Останні зміни:
Повернутися до підрозділу >



Коментарі:

Текст повідомлення*
Захист від автоматичних повідомлень
 

Інститути, факультети

Коледжі, ліцеї

Загальноуніверси- тетські інституції

Адміністративні та фінансові підрозділи

Громадські об’єднання

Тематичні розділи